PFA cấp điện tử/Hệ thống đường ống PTFE

Tổng quan

Hệ thống đường ống cấp điện tử của An Huy Xinfulong có độ chính xác-được thiết kế chonhững công việc đòi hỏi khắt khenhất-cao-sự tinh khiết (UHP) các ứng dụng xử lý chất lỏng trong sản xuất chất bán dẫn, xử lý hóa chất điện tử ướt và chế tạonút tiên tiến. Được sản xuất từ chất bán dẫn-lớp PFA (perfluoroalkoxy) và PTFE (polytetrafluoroetylen)nhựa, hệ thống đường ống của chúng tôi mang lại khảnăng kháng hóa chất đặc biệt, khảnăng chiết xuất cực thấp và độ ổn địnhnhiệt vượt trội — đảm bảo rằng chất lỏng đến quy trình của bạn vẫn tinh khiếtnhư khi chúng rời khỏinguồn cung cấp.

Trong chế tạo chất bán dẫn,ngay cả lượng ion kim loại, chất gây ônhiễm anion hoặc cặn hữu cơ cũng có thể gây ra lỗi tấm bán dẫn và ảnh hưởng trực tiếp đếnnăng suất sản xuất. điện tử-lớp PFA/Đường ống PTFE đóng vai trò là "hệ thống mạch máu" quan trọng củanhà máy — vận chuyểnnước siêu tinh khiết (UPW), hóa chất ướt, chất ăn mòn và dung môi từ phân phối số lượng lớn đến bàn ướt và dụng cụ xử lý. Hệ thống đường ống cấp điện tử của chúng tôi được sản xuất và đóng gói trong môi trường phòng sạch được kiểm soát, với mỗi lô được kiểm tranghiêmngặt để đáp ứng các yêu cầunghiêmngặt của SEMI F57, tiêu chuẩn toàn cầu về vật liệu và linh kiện polyme UHP trong hệ thống phân phối chất lỏng bán dẫn.

Các tínhnăng chính

Chất bán dẫn-Độ tinh khiết của vật liệu lớp

• Sản xuất từ điện tử-loạinhựa PFA và PTFE từ cácnhà cung cấp hàng đầu thế giới, có hàm lượng ion cực thấp và khảnăng chiết xuất tối thiểu

• Các loạinhựa PFAnhư Chemours Teflon™ 450 mã lực/451HP/950HP PLUS và Daikin NEOFLON™ AP230/AP230SH/AP231SH cung cấp mức độ tinh khiết caonhất hiện có

• siêu-khảnăng chiết xuất thấp đảm bảo các bộ phận-mỗi-tỷ (ppb) đến các bộ phận-mỗi-nghìn tỷ (ppt) mức độ tinh khiết, đáp ứng các yêu cầu về độ sạchnghiêmngặtnhất của cácnút bán dẫn tiên tiến-

• Khôngnhiễm ion kim loại — tất cả các đường dẫn ướt fluoropolymer đều loại bỏnguy cơ ônhiễm kim loại ảnh hưởng đếnnăng suất của quy trình

Kháng hóa chất đặc biệt

• Trơ với hầunhư tất cả các hóa chất gặp phải trong sản xuất chất bán dẫn — bao gồm axit flohydric (HF), axit clohiđric (HCl), axit sunfuric (H₂SO₄), axitnitric (HNO₃), hydro peroxit (H₂O₂), và các dung môi và chất oxy hóa khácnhau

• Khảnăng chống thấm hóa học vượt trội — cấu trúc dày đặc, không có khoảng trống giảm thiểu sự xâmnhập của chất lỏng và duy trì tính toàn vẹn hóa học

• Tương thích với axit, bazơ, chất oxy hóa và dung môi hữu cơ đậm đặc và loãng trên toàn bộ phạm vi pH

Phạm vinhiệt độ rộng & Ổn địnhnhiệt

• Dịch vụ liên tục từ -200°C đến +260°C

• Duy trì tính toàn vẹn về mặt cơ học và kích thước trong các biến độngnhiệt độ rộng — từ kho chứa hóa chất lạnh đến bể xử lýnướcnóng

• Tính linh hoạt ổn định và độ bền cơ họcngay cả ởnhiệt độ khắcnghiệt

• Khảnăng chống sốcnhiệt tuyệt vời cho hiệu suất đáng tin cậy trong quá trình đạp xenhiệt độnhanh

Chất lượng bề mặt vượt trội & Sạch sẽ

• Bề mặt bên trong cực kỳ mịn với độnhám thấp (Giá trị Ra đáp ứng yêu cầu SEMI F57), giảm thiểu sự bám dính của hạt, sự phát triển của vi sinh vật và sự tích tụ chất lỏng

• Cấu trúc trong suốt cho phép giám sát dòng chảy trực quan và kiểm tra dễ dàng

• không-dính, chống-Đặc tính bề mặt bám dính tạo điều kiện cho việc thoátnước, tẩy rửa và làm sạch hiệu quả

• Phát hành hạt cực thấp — mỗi lô được kiểm tra bằng Agilent ICP-Máy phân tích hạt MS và RION để đảm bảo lượng ion và hạt kim loại thấp

Tính toàn vẹn cơ học & Độ tin cậy

• Khảnăng chốngnứt và căng thẳng tuyệt vời — PFA mang lại các đặc tính cơ học vượt trội so với PTFE trong khi vẫn duy trì độ trơ hóa học tương đương

• Độ bền uốn cao và độ uốn dài-cuộc sống dưới chu kỳnhiệt

• Hệ số ma sát thấp cho dòng chất lỏng hiệu quả và giảm áp suất giảm

• Gần-hấp thụ độ ẩm bằng không đảm bảo sự ổn định kích thước trong mọi môi trường

Sản xuất phòng sạch & Bao bì

• Các quy trình sản xuất quan trọng được thực hiện trong Loại 1000/10.000 phòng sạch

• Đùn trong môi trường phòng sạch được kiểm soát; đóng gói cuối cùng trong phòng sạch Class 100 đểngănngừa ônhiễm

• Đôi-đóng gói và dánnhãn theo quy trình fab để đưa vào môi trường phòng sạch có kiểm soát

• Truy xuấtnguồn gốc đầy đủ từnguyên liệu thô đến thành phẩm

Thông số kỹ thuật

Tiêu chuẩn chất lượng & Tuân thủ

Tuân thủ SEMI F57
Hệ thống đường ống cấp điện tử của chúng tôi được sản xuất và thửnghiệm tuân thủ đầy đủ các tiêu chuẩn BÁN F57 — tiêu chuẩn dứt khoát củangành côngnghiệp bán dẫn cho siêu âm-cao-vật liệu và thành phần polymer tinh khiết được sử dụng trong hệ thống phân phối hóa chất lỏng vànước siêu tinh khiết. SEMI F57 thiết lập các yêu cầu hiệu suất tối thiểu trên bốn thông số quan trọng:

• Ônhiễm ion kim loại — Đảm bảo các ion kim loại có thể chiết xuất ở tốc độ cực thấp có thể gây ra lỗi tấm bán dẫn

• Ônhiễm anion — Kiểm soát các anion vết ảnh hưởng đến quá trình hóa học

• Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC) — Duy trì chiết xuất hữu cơ cực thấp

• Độnhám bề mặt — Đảm bảo bề mặtnhẵn giúp giảm thiểu sự bám dính và mắc kẹt của hạt

Chất bán dẫn Trung Quốc-Tiêu chuẩn ống PFA cấp (T/CPCIF 0464-2025)
Ngoài SEMI F57, các sản phẩm của chúng tôi cũng tuân thủ tiêu chuẩn quốc gia đầu tiên của Trung Quốc-tiêu chuẩn cấp độ cho chất bán dẫn-ống PFA cấp — T/CPCIF 0464-2025《半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》, được phát hành chính thức bởi Liên đoàn Côngnghiệp Hóa chất và Dầu khí Trung Quốc và có hiệu lực từ tháng 12năm 2025. Đáng chú ý, một số yêu cầu kỹ thuật trong tiêu chuẩnnày khắt khe hơn SEMI F57 — ví dụ:nội dung TOC được giới hạn ở ≤2000 μg/tôi² (so với SEMI F57 ≤40000 μg/tôi²).

Chứng chỉ bổ sung

• FDA 21 CFR 177-1520 / 177-1550 — Thửnghiệm chiết xuất cho dược phẩm và thực phẩm-ứng dụng liên hệ-

• ISO 9001 — Hệ thống quản lý chất lượng-

• ISO 14001 — Hệ thống quản lý môi trường

• ISO 45001 — Hệ thống quản lý an toàn và sức khỏenghềnghiệp

Ứng dụng

Hệ thống đường ống cấp điện tử của chúng tôi được triển khai rộng rãi trên khắp chất bán dẫn và cao cấp-ứng dụng xử lý hóa chất tinh khiết:

Sản xuất chất bán dẫn

• Hệ thống phân phối hóa chất số lượng lớn — axit, bazơ, chất oxy hóa và dung môi đậm đặc và loãng từnơi lưu trữ số lượng lớn đến điểm sử dụng

• Ghế ướt & Thiết bị xử lý ướt — Dây chuyền cung cấp hóa chất để khắc ướt, làm sạch tấm bán dẫn và xử lý chất cản quang

• Nước Siêu Tinh Khiết (UPW) Hệ thống — Phân phốinước siêu tinh khiết với điện trở suất ≥18,2 triệuΩ·cmt

• Làm phẳng hóa cơ học (CMP) — Hệ thống phân phối bùn

• Thu gom hóa chất thải — Vận chuyển an toàn dòng chất thải hóa học

Hóa chất điện tử ướt

• Chuyển dòng cho cao-axit tinh khiết (HF, HCl, H₂SO₄, HNO₃), chất ăn mòn và dung môi

• Cao-hệ thống phân phối và cấp thuốc thử tinh khiết

• Vòng trộn và tuần hoàn hóa học

quang điện & Sản xuất màn hình

• Cung cấp hóa chất cho chế tạo pin mặt trời và màn hình phẳng

Dược phẩm & Côngnghệ sinh học

• Cao-truyền chất lỏng tinh khiết với rủi ro ônhiễm bằng không

• FDA-dây chuyền chế biến phù hợp cho sản xuất dược phẩm

phân tích & Dụng cụ thínghiệm

• Cao-truyền chất lỏng và khí tinh khiết trong dụng cụ phân tích và thiết bị y tế

Cấu hình có sẵn

Tại sao chọn đường ống cấp điện tử Xinfulong?

• Chất bán dẫn-Vật liệu lớp — Nhựa PFA và PTFE cao cấp từ Chemours và Daikin đảm bảo mức độ tinh khiết caonhất

• Chứngnhận SEMI F57 — Tất cả các sản phẩm đều được kiểm tranghiêmngặt về khảnăng tách ion kim loại, giải phóng hạt và hàm lượng TOC tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F57

• Sản xuất phòng sạch — Quy trình sản xuất quan trọng trong Lớp 1000/10.000 phòng sạch; đóng gói cuối cùng trong phòng sạch Class 100

• Côngnghiệp-Chuyên môn hàng đầu — Được hỗ trợ bởi hàng thập kỷ kinhnghiệm xử lý fluoropolymer và R&D hợp tác với chuyên gia Nhật Bản và Hàn Quốc

• Hồ sơ theo dõi toàn cầu đã được chứng minh — Được khách hàng khắp Châu Âu, Nhật Bản, Hàn Quốc, Đài Loan tin cậy (Trung Quốc), và hơn thếnữa

• Đảm bảo chất lượng toàn diện — Được chứngnhận ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 đầy đủ-khảnăng kiểm tranội bộ bao gồm Agilent ICP-MS để phân tích ion kim loại và Máy phân tích hạt RION để thửnghiệm giải phóng hạt

• Kết thúc-để-Dịch vụ kết thúc — Từ lựa chọn vật liệu và thiết kế tùy chỉnh đến sản xuất, thửnghiệm và sau đó-hỗ trợ bán hàng

Tùy chọn tùy chỉnh

Chúng tôi cung cấp các hệ thống đường ống cấp điện tử có thể tùy chỉnh hoàn toàn để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của bạn:

• Đường kính, độ dày và chiều dài tùy chỉnh

• Lựa chọn vật liệu PFA hoặc PTFE dựa trên yêu cầu ứng dụng

• Nhiều tùy chọn kếtnối: phụ kiện loe, hàn hồngngoại, ống lót chèn

• Cấu hình ống chỉ tùy chỉnh và cài đặt trước-hệ thống đường ống lắp ráp

• Giới thiệu giải pháp đóng gói đặc biệt dành cho phòng sạch

• Đánh dấu bằng laser theo yêu cầu để truy xuấtnguồn gốc