Elektronisk klass PFA/PTFE rörsystem

Översikt

Anhui Xinfulongs elektroniska rörsystem är precision-konstruerad för de mest krävande ultra-hög-renhet (UHP) vätskehanteringstillämpningar inom halvledartillverkning, våt elektronisk kemisk bearbetning och avanceradnodtillverkning. Tillverkad av halvledare-klass PFA (perfluoralkoxi) och PTFE (polytetrafluoreten) hartser, våra rörsystem ger exceptionell kemisk beständighet, ultralågt extraherbart material och överlägsen termisk stabilitet — se till att vätskorna somnår din process förblir lika rena somnär de lämnade tillförselkällan.

Vid halvledartillverkning kan även spårhalter av metalljoner, anjoniska föroreningar eller organiska rester orsaka waferdefekter och direkt påverka produktionsutbytet. Elektronisk-klass PFA/PTFE-rör fungerar som det kritiska "kärlsystemet" i fabriken — transporterar ultrarent vatten (UPW), våta kemikalier, etsmedel och lösningsmedel från bulkdistribution till våta bänkar och processverktyg. Våra rörsystem av elektronisk kvalitet tillverkas och förpackas i kontrollerade renrumsmiljöer, där varje batch ärnoggrant testad för att uppfylla de stränga kraven i SEMI F57, det globala riktmärket för UHP-polymermaterial och komponenter i halvledarvätsketillförselsystem.

Nyckelfunktioner

Halvledare-Grade Material Renhet

• Tillverkad av elektronisk-PFA- och PTFE-hartser av kvalitet från ledande globala leverantörer, med extremt lågt joninnehåll och minimalt med extraherbart material

• PFA-hartser såsom Chemours Teflon™ 450 hk/451 hk/950HP PLUS och Daikin NEOFLON™ AP230/AP230SH/AP231SH ger de högsta tillgängliga renhetsnivåerna

• Ultra-låga utdragbara ämnen säkerställer delar-per-miljarder (ppb) till delar-per-biljoner (ppt) renhetsnivåer som uppfyller de strängaste renhetskraven för avancerade halvledarnoder-

• Ingen metalljonförorening — alla fuktade vägar av fluorpolymer eliminerar risken för metallisk kontaminering som påverkar processutbytet

Exceptionell kemisk beständighet

• Inert mot praktiskt taget alla kemikalier som förekommer vid halvledartillverkning — inklusive fluorvätesyra (HF)saltsyra (HCl)svavelsyra (H2SO4)salpetersyra (HNO3)väteperoxid (H2O2)och olika lösningsmedel och oxidationsmedel

• Enastående motståndskraft mot kemisk genomträngning — tät, hållös struktur minimerar vätskepenetrering och bibehåller kemisk integritet

• Kompatibel med koncentrerade och utspädda syror, baser, oxidationsmedel och organiska lösningsmedel över hela pH-intervallet

Brett temperaturområde & Termisk stabilitet

• Kontinuerlig service fr.om -200°C till +260°C

• Upprätthåller mekanisk och dimensionell integritet över stora temperaturfluktuationer — från kall kemikalielagring till uppvärmda processbad

• Stabil flexibilitet och mekanisk styrka även vid extrema temperaturer

• Utmärkt värmechockbeständighet för pålitlig prestanda under snabb temperaturcykling

Överlägsen ytkvalitet & Renlighet

• Extremt slät inre yta med låg strävhet (Ra-värden som uppfyller SEMI F57-kraven), minimerar partikelvidhäftning, mikrobiell tillväxt och vätskeinfångning

• Genomskinlig konstruktion möjliggör visuell flödesövervakning och enkel inspektion

• Icke-stick, anti-vidhäftningsytegenskaperna underlättar effektiv dränering, rening och rengöring

• Ultralåg partikelfrisättning — varje batch testas med Agilent ICP-MS och RION partikelanalysator för att säkerställa låg metalljon- och partikelfrisättning

Mekanisk integritet & Tillförlitlighet

• Utmärkt sprick- och spänningsbeständighet — PFA ger överlägsna mekaniska egenskaper jämfört med PTFE med bibehållen jämförbar kemisk tröghet

• Hög böjhållfasthet och lång flex-livet under termisk cykling

• Låg friktionskoefficient för effektivt vätskeflöde och reducerat tryckfall

• Nära-noll fuktabsorption säkerställer dimensionell stabilitet i alla miljöer

Renrumstillverkning & Förpackning

• Kritiska produktionsprocesser utförda i klass 1000/10 000 renrum

• Extrudering i kontrollerade renrumsmiljöer; slutförpackning i klass 100 renrum för att förhindra kontaminering

• Dubbel-packade och märkta förpackningar till fab-protokoll för kontrollerad introduktion i renrumsmiljöer

• Full spårbarhet från råvara till färdig produkt

Tekniska specifikationer

Kvalitetsstandarder & Efterlevnad

SEMI F57-överensstämmelse
Våra elektroniska rörsystem är tillverkade och testade i full överensstämmelse med SEMI F57 — halvledarindustrins definitiva standard för ultra-hög-renhet polymermaterial och komponenter som används i ultrarent vatten och flytande kemiska leveranssystem. SEMI F57 fastställer minimikrav för prestanda över fyra kritiska parametrar:

• Metalljonförorening — Säkerställer ultralåga extraherbara metalljoner som kan orsaka waferdefekter

• Anjonisk kontaminering — Kontroll av spåranjoner som påverkar processkemin

• Totalt organiskt kol (TOC) — Bibehåller ultralåga organiska extraherbara ämnen

• Ytjämnhet — Säkerställer släta ytor som minimerar partikelvidhäftning och infångning

China Semiconductor-Klass PFA Pipe Standard (T/CPCIF 0464-2025)
Förutom SEMI F57 uppfyller våra produkter även Kinas förstanationella-nivåstandard för halvledare-kvalitet PFA-rör — T/CPCIF 0464-2025《半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》, officiellt släppt av China Petroleum and Chemical Industry Federation och gäller i december 2025. Noterbart är flera tekniska krav i denna standard strängare än SEMI F57 — TOC-innehåll är till exempel begränsat till ≤2000 μg/m² (mot SEMI F57 ≤40 000 μg/m²).

Ytterligare certifieringar

• FDA 21 CFR 177-1520 / 177-1550 — Extractables testning för läkemedel och livsmedel-kontaktapplikationer-

• ISO 9001 — Kvalitetsledningssystem-

• ISO 14001 — Miljöledningssystem

• ISO 45001 — Ledningssystem för arbetsmiljö och säkerhet

Ansökningar

Våra elektroniska rörsystem är brett spridda över halvledare och hög-applikationer för ren kemisk bearbetning:

Halvledartillverkning

• Kemiska distributionssystem för bulk — koncentrerade och utspädda syror, baser, oxidationsmedel och lösningsmedel från bulklagring till användningsställe

• Våta bänkar & Våt processutrustning — Kemiska leveranslinjer för våtetsning, waferrengöring och fotoresistbearbetning

• Ultrarent vatten (UPW) System — Fördelning av ultrarent vatten med resistivitet ≥18,2 MΩ·cm

• Kemisk mekanisk planarisering (CMP) — System för flytgödsel

• Insamling av avfallskemikalier — Säker transport av kemiska avfallsströmmar

Våta elektroniska kemikalier

• Överföringslinjer för hög-rena syror (HF, HCl, H2SO4, HNO3)etsmedel och lösningsmedel

• Hög-renhetsreagensmatning och distributionssystem

• Kemisk blandning och recirkulationsslingor

Solceller & Displaytillverkning

• Kemikalieleverans för tillverkning av solceller och plattskärmar

Läkemedel & Biotech

• Hög-renhetsvätskeöverföring utan risk för kontaminering

• FDA-kompatibla bearbetningslinjer för läkemedelstillverkning

Analytisk & Laboratorieinstrument

• Hög-överföring av ren vätska och gas i analytiska instrument och medicinsk utrustning

Tillgängliga konfigurationer

Varför välja Xinfulong Electronic Grade Piping?

• Halvledare-Betygsmaterial — Premium PFA- och PTFE-hartser från Chemours och Daikin säkerställer högsta renhetsnivåer

• SEMI F57 certifierad — Alla produkter ärnoggrant testade för metalljonextraktion, partikelfrisättning och TOC-innehåll i enlighet med SEMI F57-standarder

• Renrumstillverkning — Kritiska produktionsprocesser i klass 1000/10 000 renrum; slutförpackning i klass 100 renrum

• Industri-Ledande expertis — Uppbackad av decennier av erfarenhet av fluorpolymerbearbetning och R&D samarbete med japanska och koreanska experter

• Beprövad global meritlista — Betrodd av kunder över hela Europa, Japan, Korea, Taiwan (Kina), och bortom

• Omfattande kvalitetssäkring — ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 certifierade med full in-funktioner för hustestning inklusive Agilent ICP-MS för metalljonanalys och RION Partikelanalysator för partikelfrigöringstestning

• Slut-till-Avsluta tjänsten — Från materialval och anpassad design till tillverkning, testning och efter-säljstöd

Anpassningsalternativ

Vi erbjuder helt anpassningsbara elektroniska rörsystem för att möta dina specifika krav:

• Anpassade diametrar, väggtjocklekar och längder

• PFA eller PTFE materialval baserat på applikationskrav

• Flera anslutningsalternativ: flänsarmatur, IR-svetsning, insticksbussningar

• Anpassade spoolkonfigurationer och pre-monterade rörsystem

• Specialförpackningslösningar för renrumsintroduktion

• Lasermärkning på begäran för spårbarhet