ภาพรวม
ระบบท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ของ Anhui Xinfulong มีความแม่นยำ-ออกแบบมาเพื่อความต้องการขั้นสูงสุด-สูง-ความบริสุทธิ์ (ยูเอชพี) การใช้งานการจัดการของเหลวในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การแปรรูปเคมีอิเล็กทรอนิกส์แบบเปียก และการผลิตโหนดขั้นสูง ผลิตจากสารกึ่งตัวนำ-เกรดพีเอฟเอ (เพอร์ฟลูออโรอัลคอกซี) และไฟเบอร์ (พอลิเตตระฟลูออโรเอทิลีน) เรซิน ระบบท่อของเราให้ความทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ สกัดได้ต่ำเป็นพิเศษ และมีเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า — ตรวจสอบให้แน่ใจว่าของเหลวที่เข้าสู่กระบวนการของคุณยังคงบริสุทธิ์เหมือนตอนที่ออกจากแหล่งจ่าย.
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่ระดับร่องรอยของไอออนของโลหะ สิ่งปนเปื้อนประจุลบ หรือสารตกค้างอินทรีย์ก็อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องของเวเฟอร์และส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตในการผลิต. อิเล็กทรอนิกส์-เกรดพีเอฟเอ/ท่อ PTFE ทำหน้าที่เป็น "ระบบหลอดเลือด" ที่สำคัญของโรงงาน — ลำเลียงน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW)สารเคมีเปียก สารกัดกร่อน และตัวทำละลาย ตั้งแต่การจำหน่ายจำนวนมากไปจนถึงม้านั่งเปียกและเครื่องมือในกระบวนการผลิต. ระบบท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ของเราผลิตและบรรจุในสภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อที่มีการควบคุม โดยแต่ละชุดได้รับการทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของ SEMI F57 ซึ่งเป็นเกณฑ์มาตรฐานสากลสำหรับวัสดุโพลีเมอร์ UHP และส่วนประกอบในระบบส่งของเหลวเซมิคอนดักเตอร์.
คุณสมบัติที่สำคัญ
เซมิคอนดักเตอร์-เกรดความบริสุทธิ์ของวัสดุ
-
ผลิตจากอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์-เรซินเกรด PFA และ PTFE จากซัพพลายเออร์ชั้นนำระดับโลก ซึ่งมีปริมาณไอออนิกต่ำมากและสามารถสกัดได้น้อยที่สุด
-
เรซิน PFA เช่น Chemours Teflon™ 450 แรงม้า/451 แรงม้า/950HP PLUS และ Daikin NEOFLON™ เอพี230/AP230SH/AP231SH ให้ระดับความบริสุทธิ์สูงสุดที่มีอยู่
-
อัลตร้า-สารสกัดต่ำช่วยให้มั่นใจได้ถึงชิ้นส่วน-ต่อ-พันล้าน (ppb) ไปยังชิ้นส่วน-ต่อ-ล้านล้าน (พีพีพี) ระดับความบริสุทธิ์ ตรงตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดที่สุดของโหนดเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง-
-
ไม่มีการปนเปื้อนของไอออนโลหะ — ทางเดินเปียกของฟลูออโรโพลีเมอร์ทั้งหมดช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของโลหะที่ส่งผลต่อผลผลิตของกระบวนการ
ทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ
-
เฉื่อยต่อสารเคมีแทบทุกชนิดที่พบในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ — รวมทั้งกรดไฮโดรฟลูออริก (เอชเอฟ),กรดไฮโดรคลอริก (เอชซีแอล),กรดซัลฟิวริก (ฮ₂SO₄),กรดไนตริก (HNO₃),ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ (H₂O₂)และตัวทำละลายและออกซิไดเซอร์ต่างๆ
-
ต้านทานการซึมผ่านของสารเคมีได้ดีเยี่ยม — โครงสร้างที่หนาแน่นและไม่มีช่องว่างช่วยลดการซึมผ่านของของเหลวและรักษาความสมบูรณ์ทางเคมี
-
เข้ากันได้กับกรด เบส ตัวออกซิไดเซอร์ และตัวทำละลายอินทรีย์ที่มีความเข้มข้นและเจือจางตลอดช่วง pH ทั้งหมด
ช่วงอุณหภูมิกว้าง & เสถียรภาพทางความร้อน
-
บริการอย่างต่อเนื่องจาก -200°ซีถึง +260°ค
-
รักษาความสมบูรณ์ทางกลและมิติตลอดความผันผวนของอุณหภูมิในวงกว้าง — ตั้งแต่การจัดเก็บสารเคมีเย็นไปจนถึงอ่างกระบวนการทำความร้อน
-
ความยืดหยุ่นที่มั่นคงและความแข็งแรงทางกลแม้ในอุณหภูมิที่สูงมาก
-
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยมเพื่อประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในระหว่างการหมุนเวียนของอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว
คุณภาพพื้นผิวที่เหนือกว่า & ความสะอาด
-
พื้นผิวด้านในเรียบเป็นพิเศษและมีความหยาบต่ำ (ค่า Ra เป็นไปตามข้อกำหนด SEMI F57)ลดการยึดเกาะของอนุภาค การเจริญเติบโตของจุลินทรีย์ และการกักเก็บของเหลว
-
โครงสร้างโปร่งแสงช่วยให้ตรวจสอบการไหลของภาพและการตรวจสอบได้ง่าย
-
ไม่ใช่-ติดต่อต้าน-คุณสมบัติพื้นผิวการยึดเกาะช่วยให้การระบายน้ำ การชะล้าง และการทำความสะอาดมีประสิทธิภาพ
-
การปล่อยอนุภาคต่ำมาก — แต่ละชุดได้รับการทดสอบด้วย Agilent ICP-เครื่องวิเคราะห์อนุภาค MS และ RION เพื่อให้แน่ใจว่าไอออนของโลหะและอนุภาคจะปล่อยออกมาต่ำ
ความสมบูรณ์ทางกล & ความน่าเชื่อถือ
-
ต้านทานการแตกร้าวและความเครียดได้ดีเยี่ยม — PFA มอบคุณสมบัติเชิงกลที่เหนือกว่าเมื่อเปรียบเทียบกับ PTFE ในขณะที่ยังคงความเฉื่อยทางเคมีที่เทียบเคียงได้
-
มีแรงดัดงอสูงและงอได้ยาว-ชีวิตภายใต้การหมุนเวียนด้วยความร้อน
-
ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำเพื่อการไหลของของไหลที่มีประสิทธิภาพและลดแรงดันตกคร่อม
-
ใกล้-การดูดซับความชื้นเป็นศูนย์ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของมิติในทุกสภาพแวดล้อม
การผลิตห้องคลีนรูม & บรรจุภัณฑ์
-
กระบวนการผลิตที่สำคัญดำเนินการในคลาส 1000/ห้องสะอาด 10,000 ห้อง
-
การอัดขึ้นรูปในสภาพแวดล้อมห้องสะอาดที่มีการควบคุม การบรรจุขั้นสุดท้ายในห้องคลีนรูมคลาส 100 เพื่อป้องกันการปนเปื้อน
-
ดับเบิ้ล-บรรจุภัณฑ์แบบถุงและติดฉลากตามโปรโตคอล fab สำหรับการควบคุมการนำเข้าสู่สภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อ
-
สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ตั้งแต่วัตถุดิบไปจนถึงผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
มาตรฐานคุณภาพ & การปฏิบัติตาม
การปฏิบัติตามข้อกำหนด SEMI F57
ระบบท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ของเราได้รับการผลิตและทดสอบตามข้อกำหนดทุกประการ เซมิเอฟ57 — มาตรฐานขั้นสุดท้ายของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับอัลตร้า-สูง-วัสดุและส่วนประกอบโพลีเมอร์ความบริสุทธิ์ที่ใช้ในระบบส่งน้ำบริสุทธิ์พิเศษและสารเคมีเหลว. SEMI F57 กำหนดข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพขั้นต่ำสำหรับพารามิเตอร์ที่สำคัญสี่ตัว: :
-
การปนเปื้อนของไอออนโลหะ — ตรวจสอบให้แน่ใจว่าไอออนของโลหะที่สกัดได้ต่ำเป็นพิเศษซึ่งอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องของเวเฟอร์
-
การปนเปื้อนประจุลบ — การควบคุมแอนไอออนปริมาณน้อยที่ส่งผลต่อเคมีในกระบวนการ
-
คาร์บอนอินทรีย์ทั้งหมด (สารบัญ) — การบำรุงรักษาสารสกัดอินทรีย์ที่ต่ำเป็นพิเศษ
-
ความหยาบผิว — รับประกันพื้นผิวเรียบที่ลดการยึดเกาะและการกักเก็บของอนุภาค
เซมิคอนดักเตอร์ของจีน-เกรดมาตรฐานท่อ PFA (ต/ซีพีซีไอเอฟ 0464-2025)
นอกจาก SEMI F57 แล้ว ผลิตภัณฑ์ของเรายังสอดคล้องกับมาตรฐานแห่งชาติแห่งแรกของจีนอีกด้วย-ระดับมาตรฐานสำหรับเซมิคอนดักเตอร์-ท่อพีเอฟเอ เกรด — ต/ซีพีซีไอเอฟ 0464-2025《半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯(พีเอฟเอ)管》เผยแพร่อย่างเป็นทางการโดยสภาอุตสาหกรรมปิโตรเลียมและเคมีของจีน และมีผลใช้บังคับในเดือนธันวาคม 2568. โดยเฉพาะอย่างยิ่ง ข้อกำหนดทางเทคนิคหลายประการในมาตรฐานนี้เข้มงวดกว่า SEMI F57 — ตัวอย่างเช่น เนื้อหา TOC ถูกจำกัดอยู่เพียง ≤2000 μก/ม² (เทียบกับ SEMI F57 ≤40000 μก/ม²).
การรับรองเพิ่มเติม
-
อย.21 CFR 177-1520 / 177-1550 — การทดสอบสารสกัดสำหรับยาและอาหาร-ติดต่อแอปพลิเคชัน-
-
ISO9001 — ระบบการจัดการคุณภาพ-
-
ISO 14001 — ระบบการจัดการสิ่งแวดล้อม
-
ISO 45001 — ระบบการจัดการอาชีวอนามัยและความปลอดภัย
การใช้งาน
ระบบท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ของเราถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางทั่วทั้งเซมิคอนดักเตอร์และสูง-การใช้งานการประมวลผลทางเคมีที่มีความบริสุทธิ์:
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
-
ระบบจำหน่ายสารเคมีปริมาณมาก — กรด เบส สารออกซิไดเซอร์ และตัวทำละลายเข้มข้นและเจือจางตั้งแต่การจัดเก็บจำนวนมากจนถึงจุดใช้งาน
-
ม้านั่งเปียก & อุปกรณ์กระบวนการเปียก — สายส่งสารเคมีสำหรับการกัดแบบเปียก การทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ และการประมวลผลด้วยแสง
-
น้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) ระบบ — การกระจายน้ำบริสุทธิ์พิเศษพร้อมความต้านทาน ≥18.2 มΩ·ซม
-
การวางแผนทางกลเคมี (ซีเอ็มพี) — ระบบการจัดส่งสารละลาย
-
การรวบรวมสารเคมีเสีย — การขนส่งขยะเคมีอย่างปลอดภัย
เคมีภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์แบบเปียก
-
โอนสายให้สูง-กรดบริสุทธิ์ (HF, HCl, H₂SO₄, HNO₃)สารกัดกร่อน และตัวทำละลาย
-
สูง-ระบบป้อนและจ่ายรีเอเจนต์ความบริสุทธิ์
-
วงจรการผสมและการหมุนเวียนสารเคมี
ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ & การผลิตจอแสดงผล
เภสัชกรรม & เทคโนโลยีชีวภาพ
วิเคราะห์ & เครื่องมือห้องปฏิบัติการ
การกำหนดค่าที่มีอยู่
เหตุใดจึงเลือกท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ Xinfulong
-
เซมิคอนดักเตอร์-วัสดุเกรด — เรซิน PFA และ PTFE ระดับพรีเมียมจาก Chemours และ Daikin รับประกันระดับความบริสุทธิ์สูงสุด
-
ได้รับการรับรอง SEMI F57 — ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดได้รับการทดสอบอย่างเข้มงวดสำหรับการสกัดไอออนโลหะ การปล่อยอนุภาค และปริมาณ TOC ตามมาตรฐาน SEMI F57
-
การผลิตห้องคลีนรูม — กระบวนการผลิตที่สำคัญในคลาส 1000/ห้องสะอาด 10,000 ห้อง; บรรจุภัณฑ์ขั้นสุดท้ายในห้องสะอาดคลาส 100
-
อุตสาหกรรม-ความเชี่ยวชาญชั้นนำ — ได้รับการสนับสนุนจากประสบการณ์การประมวลผลฟลูออโรโพลีเมอร์หลายทศวรรษและ R&D ร่วมมือกับผู้เชี่ยวชาญชาวญี่ปุ่นและเกาหลี
-
ประวัติความเป็นมาระดับโลกที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว — ได้รับความไว้วางใจจากลูกค้าทั่วยุโรป ญี่ปุ่น เกาหลี ไต้หวัน (จีน)และอีกมากมาย
-
การประกันคุณภาพที่ครอบคลุม — ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 เต็มรูปแบบ-ความสามารถในการทดสอบบ้านรวมถึง Agilent ICP-MS สำหรับการวิเคราะห์ไอออนของโลหะและเครื่องวิเคราะห์อนุภาค RION สำหรับการทดสอบการปล่อยอนุภาค
-
สิ้นสุด-ถึง-สิ้นสุดการบริการ — ตั้งแต่การเลือกวัสดุและการออกแบบตามสั่งไปจนถึงการผลิต การทดสอบ และหลังจากนั้น-การสนับสนุนการขาย
ตัวเลือกการปรับแต่ง
เรานำเสนอระบบท่อเกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่ปรับแต่งได้อย่างเต็มที่เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของคุณ:
-
เส้นผ่านศูนย์กลาง ความหนาของผนัง และความยาวที่กำหนดเอง
-
การเลือกวัสดุ PFA หรือ PTFE ตามความต้องการใช้งาน
-
ตัวเลือกการเชื่อมต่อที่หลากหลาย: อุปกรณ์แฟลร์, การเชื่อมแบบ IR, บูชแบบสอด
-
การกำหนดค่าสปูลแบบกำหนดเองและล่วงหน้า-ระบบท่อประกอบ
-
โซลูชั่นบรรจุภัณฑ์พิเศษสำหรับการแนะนำห้องคลีนรูม
-
การมาร์กด้วยเลเซอร์ตามคำขอสำหรับการตรวจสอบย้อนกลับ
