概要
Anhui Xinfulong の電子グレード配管システムは高精度です-最も要求の厳しいウルトラ向けに設計-高い-純粋さ (UHP) 半導体製造、湿式電子化学処理、および高度なノード製造における流体処理アプリケーション。半導体から製造-グレード PFA (ペルフルオロアルコキシ) およびPTFE (ポリテトラフルオロエチレン) 樹脂を使用した当社の配管システムは、優れた耐薬品性、超低抽出物、優れた熱安定性を実現します。 — プロセスに到達する流体が供給源から出たときと同じくらい純粋な状態を保つようにする。
半導体製造では、微量の金属イオン、アニオン性汚染物質、または有機残留物でもウェーハ欠陥の原因となり、生産歩留まりに直接影響を与える可能性があります。。電子-グレード PFA/PTFE 配管は工場の重要な「血管システム」として機能します — 超純水の輸送 (UPW)、ウェットベンチやプロセスツールまでのバルク流通からウェットケミカル、エッチング液、溶剤まで。当社の電子グレードの配管システムは、制御されたクリーンルーム環境で製造および梱包されており、各バッチは、半導体流体供給システムの UHP ポリマー材料およびコンポーネントの世界的なベンチマークである SEMI F57 の厳しい要件を満たすように厳密にテストされています。。
主な特長
半導体-グレード 材質純度
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電子から製造-世界の大手サプライヤーが提供するグレードの PFA および PTFE 樹脂は、イオン含有量が極めて低く、抽出物が最小限であることが特徴です
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Chemours Teflon などの PFA 樹脂™ 450馬力/451馬力/950HP PLUSとダイキンネオフロン™ AP230/AP230SH/AP231SH は利用可能な最高の純度レベルを提供します
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ウルトラ-抽出物が少ないため部品が確保されます-あたり-十億 (ppb) 部品に-あたり-兆 (ppt) 高度な半導体ノードの最も厳しい清浄度要件を満たす純度レベル-
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金属イオンの汚染がない — すべてのフッ素ポリマーの接液経路により、プロセスの歩留まりに影響を与える金属汚染のリスクが排除されます。
優れた耐薬品性
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半導体製造で遭遇するほぼすべての化学物質に対して不活性 — フッ化水素酸を含む (HF)、塩酸 (塩酸)、硫酸 (H₂SO₄)、硝酸 (HNO₃)、過酸化水素 (H₂O₂)、およびさまざまな溶媒および酸化剤
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優れた耐薬品透過性 — 緻密で空洞のない構造により、液体の浸透が最小限に抑えられ、化学的完全性が維持されます。
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全 pH 範囲にわたって濃酸、希酸、塩基、酸化剤、有機溶媒に適合
広い温度範囲 & 熱安定性
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からの継続的なサービス -200°Cから +260°C
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幅広い温度変動にわたって機械的および寸法の完全性を維持します — 冷蔵化学薬品保管庫から加熱プロセスバスまで
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極端な温度でも安定した柔軟性と機械的強度
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優れた耐熱衝撃性により、急速な温度サイクルでも信頼性の高い性能を発揮
優れた表面品質 & 清潔さ
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内面の粗さが少なく非常に滑らかな内面 (SEMI F57 要件を満たす Ra 値)、粒子の付着、微生物の増殖、液体の閉じ込めを最小限に抑えます。
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半透明構造により、視覚的な流れ監視と簡単な検査が可能
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非-スティック、アンチ-接着表面の特性により、効率的な排水、パージ、洗浄が容易になります。
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超低粒子放出 — 各バッチは Agilent ICP でテストされます-MS および RION 粒子分析装置により、金属イオンと粒子の放出が少ないことが保証されます
機械的完全性 & 信頼性
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優れた耐亀裂性と耐応力性 — PFA は、PTFE と比較して、同等の化学的不活性性を維持しながら、優れた機械的特性を実現します。
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高い曲げ強度と長いフレックス-熱サイクル下での寿命
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低い摩擦係数により効率的な流体の流れと圧力損失の低減を実現
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近く-吸湿ゼロにより、あらゆる環境での寸法安定性が確保されます。
クリーンルーム製造 & 包装
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クラス 1000 で実行される重要な生産プロセス/10,000のクリーンルーム
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制御されたクリーンルーム環境での押出。汚染を防ぐためにクラス100のクリーンルームで最終梱包
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ダブル-クリーンルーム環境への導入を制御するための製造プロトコルに準拠した袋詰めおよびラベル付きパッケージ
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原材料から完成品までの完全なトレーサビリティ
技術仕様
品質基準 & コンプライアンス
SEMI F57 準拠
当社の電子グレードの配管システムは、次の規格に完全に準拠して製造およびテストされています。 セミF57 — 半導体業界のウルトラの決定的な標準-高い-超純水および薬液供給システムに使用される純度ポリマー材料およびコンポーネント。 SEMI F57は、4つの重要なパラメータにわたる最小パフォーマンス要件を確立しています:
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金属イオン汚染 — ウェーハ欠陥の原因となる可能性のある金属イオンの抽出が極めて少ないことを保証
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陰イオン汚染 — プロセス化学に影響を与える微量陰イオンの制御
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全有機炭素 (目次) — 極めて低い有機抽出物を維持
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表面粗さ — 粒子の付着や閉じ込めを最小限に抑える滑らかな表面を確保
中国半導体-グレード PFA パイプ規格 (T/CPCIF 0464-2025年)
SEMI F57に加えて、当社の製品は中国初の国家規格にも準拠しています。-半導体のレベル基準-グレードの PFA パイプ — T/CPCIF 0464-2025年《半导体级超纯可熔性聚四氟エチル烯(PFA)管》、中国石油化学工業連合会によって正式に発表され、2025 年 12 月に発効。特に、この規格のいくつかの技術要件は SEMI F57 よりも厳格です — たとえば、目次コンテンツは以下に限定されます。 ≤2000年 μg/メートル² (vs. SEMI F57 ≤40000 μg/メートル²)。
追加の認定
アプリケーション
当社の電子グレード配管システムは、半導体および高機能製品に幅広く導入されています。-純度の化学処理用途:
半導体製造
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化学薬品のバルク配送システム — 濃縮および希薄な酸、塩基、酸化剤、溶媒を大量保管から使用時まで保管
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ウェットベンチ & 湿式プロセス装置 — ウェットエッチング、ウェーハ洗浄、フォトレジスト処理用の薬液供給ライン
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超純水 (UPW) システム — 比抵抗のある超純水の分布 ≥18.2メートルΩ·センチメートル
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化学機械的平坦化 (CMP) — スラリー供給システム
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廃化学物質の収集 — 化学廃棄物の安全な輸送
湿式電子化学薬品
太陽光発電 & ディスプレイ製造
医薬品 & バイオテクノロジー
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高-汚染リスクゼロの高純度液体移送
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FDA-医薬品製造用の準拠した処理ライン
分析的 & 実験器具
利用可能な構成
Xinfulong 電子グレード配管を選択する理由
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半導体-グレードマテリアル — Chemours と Daikin のプレミアム PFA および PTFE 樹脂は最高の純度レベルを保証します
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SEMI F57認定 — すべての製品は、SEMI F57 規格に準拠して、金属イオンの抽出、粒子の放出、TOC 含有量について厳密にテストされています。
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クリーンルーム製造 — クラス 1000 の重要な生産プロセス/10,000のクリーンルーム。クラス100のクリーンルームでの最終梱包
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産業-最先端の専門知識 — 数十年にわたるフッ素ポリマー加工の経験とRに裏付けられた&D 日本と韓国の専門家とのコラボレーション
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実証された世界的な実績 — ヨーロッパ、日本、韓国、台湾のクライアントから信頼されています (中国)、そしてその先へ
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徹底した品質保証 — ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001を完全認証取得-Agilent ICP を含む社内テスト機能-金属イオン分析用の MS と粒子放出試験用の RION 粒子分析装置
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終了-に-サービス終了 — 材料の選択からカスタム設計、製造、テスト、アフターまで-営業サポート
カスタマイズオプション
当社は、お客様の特定の要件を満たす完全にカスタマイズ可能な電子グレードの配管システムを提供します。
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カスタムの直径、肉厚、長さ
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アプリケーション要件に基づいた PFA または PTFE 材料の選択
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複数の接続オプション: フレアフィッティング、IR溶接、インサートブッシュ
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カスタムスプール構成と事前-組み立てられた配管システム
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クリーンルーム導入のための特殊な梱包ソリューション
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トレーサビリティの要求に応じたレーザーマーキング
