개요
Anhui Xinfulong의 전자 등급 배관 시스템은 정밀합니다.-가장 까다로운 울트라를 위해 설계되었습니다.-높다-순도 (초고압) 반도체 제조, 습식 전자 화학 처리 및 고급 노드 제조 분야의 유체 취급 응용 분야. 반도체로 제조-PFA 등급 (퍼플루오로알콕시) 및 PTFE (폴리테트라플루오로에틸렌) 수지를 사용하는 당사의 배관 시스템은 탁월한 내화학성, 극히 낮은 추출물 및 우수한 열 안정성을 제공합니다. — 공정에 도달하는 유체가 공급원에서 나올 때처럼 순수하게 유지되도록 보장.
반도체 제조에서는 미량의 금속 이온, 음이온 오염물 또는 유기 잔류물이라도 웨이퍼 결함을 유발하고 생산 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다.. 전자-PFA 등급/PTFE 배관은 제조공장의 중요한 "혈관 시스템" 역할을 합니다. — 초순수 운반 (상향), 벌크 유통부터 습식 벤치 및 공정 도구까지 습식 화학 물질, 식각액 및 용제. 당사의 전자 등급 배관 시스템은 제어된 클린룸 환경에서 제조 및 포장되며, 각 배치는 반도체 유체 공급 시스템의 UHP 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 글로벌 벤치마크인 SEMI F57의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 엄격하게 테스트되었습니다..
주요 특징
반도체-등급 재료 순도
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전자제품으로 제작-극도로 낮은 이온 함량과 최소한의 추출물을 특징으로 하는 선도적인 글로벌 공급업체의 PFA 및 PTFE 등급 수지
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Chemours Teflon과 같은 PFA 수지™ 450HP/451마력/950HP PLUS 및 Daikin NEOFLON™ AP230/AP230SH/AP231SH는 최고 수준의 순도를 제공합니다.
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울트라-낮은 추출물로 부품 보장-당-10억 (ppb) 부품에-당-조 (PPT) 고급 반도체 노드의 가장 엄격한 청정도 요구 사항을 충족하는 순도 수준-
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금속 이온 오염 없음 — 모든 불소폴리머 습식 경로는 공정 수율에 영향을 미치는 금속 오염 위험을 제거합니다.
탁월한 내화학성
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반도체 제조 시 발생하는 거의 모든 화학물질에 대해 불활성 — 불산을 포함하여 (HF), 염산 (HCl), 황산 (H2SO₄), 질산 (HNO₃), 과산화수소 (H2O2), 각종 용매 및 산화제
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화학적 침투에 대한 뛰어난 저항성 — 조밀하고 빈 공간이 없는 구조로 유체 침투를 최소화하고 화학적 무결성을 유지합니다.
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전체 pH 범위에서 농축 및 묽은 산, 염기, 산화제 및 유기 용매와 호환됩니다.
넓은 온도 범위 & 열 안정성
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지속적인 서비스 -200°C에서 +260°C
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광범위한 온도 변동에 걸쳐 기계적 및 치수 무결성을 유지합니다. — 차가운 화학물질 보관소부터 가열된 공정 수조까지
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극한의 온도에서도 안정적인 유연성과 기계적 강도
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빠른 온도 사이클링 동안 안정적인 성능을 위한 뛰어난 열충격 저항
우수한 표면 품질 & 청결도
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거칠기가 낮고 내부 표면이 매우 매끄러움 (SEMI F57 요구 사항을 충족하는 Ra 값), 입자 부착, 미생물 성장 및 유체 포착 최소화
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반투명 구조로 시각적 흐름 모니터링 및 간편한 검사가 가능합니다.
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비-스틱, 안티-접착 표면 특성으로 효율적인 배수, 퍼지 및 청소가 용이합니다.
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초저 입자 방출 — 각 배치는 Agilent ICP로 테스트됩니다.-낮은 금속 이온 및 입자 방출을 보장하는 MS 및 RION 입자 분석기
기계적 완전성 & 신뢰성
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우수한 균열 및 응력 저항 — PFA는 PTFE에 비해 화학적 불활성을 유지하면서 우수한 기계적 특성을 제공합니다.
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높은 굽힘 강도와 긴 굽힘-열 순환 하에서의 수명
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효율적인 유체 흐름과 감소된 압력 강하를 위한 낮은 마찰 계수
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근처-수분 흡수가 전혀 없어 모든 환경에서 치수 안정성이 보장됩니다.
클린룸 제조 & 포장
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클래스 1000에서 수행되는 중요한 생산 공정/10,000개의 클린룸
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통제된 클린룸 환경에서의 압출; 오염 방지를 위해 클래스 100 클린룸에서 최종 포장
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더블-클린룸 환경으로의 도입을 제어하기 위해 제조 프로토콜에 따라 포장 및 라벨링된 포장
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원자재부터 완제품까지 완벽한 추적성
기술 사양
품질 표준 & 규정 준수
SEMI F57 규정 준수
당사의 전자 등급 배관 시스템은 다음을 완벽하게 준수하여 제조 및 테스트되었습니다. 세미 F57 — Ultra에 대한 반도체 산업의 최종 표준-높다-초순수 및 액체 화학 물질 전달 시스템에 사용되는 고순도 폴리머 재료 및 부품. SEMI F57은 4가지 주요 매개변수에 걸쳐 최소 성능 요구 사항을 설정합니다.:
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금속 이온 오염 — 웨이퍼 결함을 유발할 수 있는 초저 추출 가능한 금속 이온 보장
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음이온 오염 — 공정 화학에 영향을 미치는 미량 음이온 제어
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총유기탄소 (목차) — 초저유기 추출성 유지
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표면 거칠기 — 입자 접착 및 포착을 최소화하는 매끄러운 표면 보장
중국 반도체-등급 PFA 파이프 표준 (티/CPCIF 0464-2025년)
SEMI F57 외에도 당사 제품은 중국 최초의 국가 표준을 준수합니다.-반도체 레벨 규격-등급 PFA 파이프 — 티/CPCIF 0464-2025년《半导体级超纯可熔性聚4氟乙烯》(PFA)管》, 중국석유화학공업연합회에서 공식 발표했으며 2025년 12월부터 유효합니다.. 특히 이 표준의 여러 기술 요구 사항은 SEMI F57보다 더 엄격합니다. — 예를 들어 TOC 콘텐츠는 다음으로 제한됩니다. ≤2000 μ지/엠² (대 SEMI F57 ≤40000 μ지/엠²).
추가 인증
응용
당사의 전자 등급 배관 시스템은 반도체 및 첨단 산업 전반에 걸쳐 널리 배포됩니다.-순도 화학 처리 응용 분야:
반도체 제조
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대량 화학물질 유통 시스템 — 농축 및 희석 산, 염기, 산화제, 용매를 대량 저장부터 사용 지점까지
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젖은 벤치 & 습식 공정 장비 — 습식 에칭, 웨이퍼 세척 및 포토레지스트 처리를 위한 화학 물질 공급 라인
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초순수 (상향) 시스템 — 비저항을 갖는 초순수의 분포 ≥18.2MΩ·센티미터
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화학적 기계적 평탄화 (CMP) — 슬러리 전달 시스템
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폐화학물질 수집 — 화학 폐기물 흐름의 안전한 운송
습식 전자화학제품
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높은 환승 라인-순도 산 (HF, HCl, H₂SO₄, HNO₃), 에칭액 및 용매
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높음-순도 시약 공급 및 유통 시스템
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화학물질 혼합 및 재순환 루프
태양광 & 디스플레이 제조
제약 & 생명공학
분석적 & 실험실 장비
사용 가능한 구성
Xinfulong 전자 등급 배관을 선택하는 이유는 무엇입니까?
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반도체-등급 재료 — Chemours 및 Daikin의 프리미엄 PFA 및 PTFE 수지는 최고 순도 수준을 보장합니다.
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SEMI F57 인증 — 모든 제품은 SEMI F57 표준에 따라 금속 이온 추출, 입자 방출 및 TOC 함량에 대해 엄격한 테스트를 거쳤습니다.
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클린룸 제조 — 클래스 1000의 주요 생산 공정/10,000개의 클린룸; 클래스 100 클린룸에서 최종 포장
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산업-최고의 전문성 — 수십 년간의 불소중합체 가공 경험과 R을 바탕으로&D 일본과 한국 전문가와의 협업
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검증된 글로벌 실적 — 유럽, 일본, 한국, 대만 전역의 고객이 신뢰하는 (중국), 그리고 그 이상
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포괄적인 품질 보증 — ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 전체 인증-Agilent ICP를 포함한 자체 테스트 기능-금속 이온 분석을 위한 MS 및 입자 방출 테스트를 위한 RION 입자 분석기
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종료-에-서비스 종료 — 소재 선택과 맞춤 설계부터 제조, 테스트, 사후 관리까지-영업 지원
사용자 정의 옵션
우리는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 완전히 맞춤화 가능한 전자 등급 배관 시스템을 제공합니다.
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맞춤형 직경, 벽 두께 및 길이
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적용 요구 사항에 따라 PFA 또는 PTFE 재료 선택
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다양한 연결 옵션: 플레어 피팅, IR 용접, 인서트 부싱
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맞춤형 스풀 구성 및 사전-조립된 배관 시스템
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클린룸 도입을 위한 특수 포장 솔루션
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추적성을 위해 요청 시 레이저 마킹
