Elektronisk klasse PFA/PTFE rørsystemer

Oversigt

Anhui Xinfulongs elektroniske rørsystemer er præcise-konstrueret til de mest krævende ultra-høj-renhed (UHP) væskehåndteringsapplikationer inden for halvlederfremstilling, våd elektronisk kemisk behandling og avanceretnodefremstilling. Fremstillet af halvleder-klasse PFA (perfluoralkoxy) og PTFE (polytetrafluorethylen) harpikser, vores rørsystemer leverer enestående kemisk resistens, ultralave ekstraherbare materialer og overlegen termisk stabilitet — sikre, at de væsker, dernår din proces, forbliver lige så rene, som da de forlod forsyningskilden.

Ved halvlederfremstilling kan selv sporniveauer af metalliske ioner, anioniske kontaminanter eller organiske rester forårsage wafer-defekter og direkte påvirke produktionsudbyttet. Elektronisk-klasse PFA/PTFE-rør fungerer som det kritiske "vaskulære system" i fabrikken — transport af ultrarent vand (UPW), våde kemikalier, ætsemidler og opløsningsmidler fra bulkdistribution til våde bænke og procesværktøjer. Vores elektroniske rørsystemer fremstilles og emballeres i kontrollerede renrumsmiljøer, hvor hver batch er grundigt testet for at opfylde de strenge krav i SEMI F57, det globale benchmark for UHP-polymermaterialer og -komponenter i halvledervæskeleveringssystemer.

Nøglefunktioner

Halvleder-Kvalitet Materialerenhed

• Fremstillet af elektronisk-PFA- og PTFE-harpikser fra førende globale leverandører med ekstremt lavt ionindhold og minimalt ekstraherbare

• PFA-harpikser såsom Chemours Teflon™ 450 hk/451 hk/950HK PLUS og Daikin NEOFLON™ AP230/AP230SH/AP231SH giver de højeste tilgængelige renhedsniveauer

• Ultra-lave udtrækbare dele sikrer dele-pr-mia (ppb) til dele-pr-billioner (ppt) renhedsniveauer, der opfylder de strengeste renhedskrav for avancerede halvlederknuder-

• Ingen metalion forurening — alle fluorpolymer våde veje eliminerer risikoen for metallisk forurening, der påvirker procesudbyttet

Enestående kemisk resistens

• Inert over for stort set alle kemikalier, der forekommer i halvlederfremstilling — herunder flussyre (HF)saltsyre (HCl)svovlsyre (H2S04)salpetersyre (HNO3)hydrogenperoxid (H2O2)og forskellige opløsningsmidler og oxidationsmidler

• Fremragende modstandsdygtighed over for kemisk gennemtrængning — tæt, tomrumsfri struktur minimerer væskegennemtrængning og bevarer kemisk integritet

• Kompatibel med koncentrerede og fortyndede syrer, baser, oxidationsmidler og organiske opløsningsmidler i hele pH-området

Bredt temperaturområde & Termisk stabilitet

• Løbende service fra -200°C til +260°C

• Bevarer mekanisk og dimensionel integritet på tværs af store temperaturudsving — fra kold kemisk opbevaring til opvarmede procesbade

• Stabil fleksibilitet og mekanisk styrke selv ved ekstreme temperaturer

• Fremragende termisk stødmodstand for pålidelig ydeevne under hurtige temperaturcyklusser

Overlegen overfladekvalitet & Renlighed

• Ekstremt glat inderside med lav ruhed (Ra-værdier, der opfylder SEMI F57-kravene), hvilket minimerer partikeladhæsion, mikrobiel vækst og væskeindfangning

• Gennemsigtig konstruktion muliggør visuel flowovervågning ognem inspektion

• Ikke-pind, anti-Adhæsionsoverfladeegenskaber letter effektiv dræning, udrensning og rengøring

• Ultralav partikelfrigivelse — hver batch testes med Agilent ICP-MS og RION partikelanalysator for at sikre lav metalion- og partikelfrigivelse

Mekanisk integritet & Pålidelighed

• Fremragende revne- og spændingsbestandighed — PFA leverer overlegne mekaniske egenskaber sammenlignet med PTFE, mens den bibeholder sammenlignelig kemisk inerthed

• Høj bøjningsstyrke og lang flex-liv under termisk cykling

• Lav friktionskoefficient for effektiv væskestrøm og reduceret trykfald

• Tæt på-nul fugtabsorption sikrer dimensionsstabilitet i alle miljøer

Renrumsproduktion & Emballage

• Kritiske produktionsprocesser udført i klasse 1000/10.000 renrum

• Ekstrudering i kontrollerede renrumsmiljøer; slutemballage i klasse 100 renrum for at forhindre kontaminering

• Dobbelt-pakket og mærket emballage til fab protokoller til kontrolleret indføring i renrumsmiljøer

• Fuld sporbarhed fra råvare til færdigt produkt

Tekniske specifikationer

Kvalitetsstandarder & Overholdelse

SEMI F57 Overholdelse
Vores elektroniske rørsystemer er fremstillet og testet i fuld overensstemmelse med SEMI F57 — halvlederindustriens definitive standard for ultra-høj-renhed polymer materialer og komponenter, der anvendes i ultrarent vand og flydende kemikalie leveringssystemer. SEMI F57 etablerer minimumskrav til ydeevne på tværs af fire kritiske parametre:

• Metalionforurening — Sikring af ultralave ekstraherbare metalioner, der kan forårsage wafer-defekter

• Anionisk forurening — Styring af sporanioner, der påvirker proceskemien

• Total organisk kulstof (TOC) — Opretholdelse af ultralave organiske ekstraherbare materialer

• Overfladeruhed — Sikrer glatte overflader, der minimerer partikelvedhæftning og indeslutning

Kina Semiconductor-Kvalitet PFA rørstandard (T/CPCIF 0464-2025)
Ud over SEMI F57 overholder vores produkter også Kinas førstenationale-niveaustandard for halvledere-klasse PFA rør — T/CPCIF 0464-2025《半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》, officielt udgivet af China Petroleum and Chemical Industry Federation og med virkning fra december 2025. Navnlig er flere tekniske krav i denne standard strengere end SEMI F57 — TOC-indhold er f.eks. begrænset til ≤2000 μg/m² (vs. SEMI F57'er ≤40.000 μg/m²).

Yderligere certificeringer

• FDA 21 CFR 177-1520 / 177-1550 — Extractables test for farmaceutiske og fødevarer-kontakt applikationer-

• ISO 9001 — Kvalitetsstyringssystem-

• ISO 14001 — Miljøledelsessystem

• ISO 45001 — Arbejdsmiljøledelsessystem

Ansøgninger

Vores elektroniske rørsystemer er bredt udbredt på tværs af halvledere og høje-ren kemisk behandlingsapplikationer:

Fremstilling af halvledere

• Kemiske distributionssystemer i bulk — koncentrerede og fortyndede syrer, baser, oxidationsmidler og opløsningsmidler fra bulklagring til brugsstedet

• Våde bænke & Vådt procesudstyr — Kemiske leveringslinjer til vådætsning, waferrensning og fotoresistbehandling

• Ultrarent vand (UPW) Systemer — Fordeling af ultrarent vand med resistivitet ≥18,2 MΩ·cm

• Kemisk mekanisk planarisering (CMP) — Gylleleveringssystemer

• Indsamling af kemikalieaffald — Sikker transport af kemiske affaldsstrømme

Våde elektroniske kemikalier

• Overførselslinjer for høj-rene syrer (HF, HCI, H2S04, HN03)ætsemidler og opløsningsmidler

• Høj-renhed reagens tilførsel og distributionssystemer

• Kemisk blanding og recirkulationssløjfer

Fotovoltaisk & Displayfremstilling

• Kemisk levering til fremstilling af solceller og fladskærme

Farmaceutisk & Biotek

• Høj-renhedsvæskeoverførsel uden risiko for forurening

• FDA-kompatible behandlingslinjer til farmaceutisk fremstilling

Analytisk & Laboratorieinstrumenter

• Høj-overførsel af ren væske og gas i analytiske instrumenter og medicinsk udstyr

Tilgængelige konfigurationer

Hvorfor vælge Xinfulong Electronic Grade Piping?

• Halvleder-Kvalitetsmaterialer — Premium PFA- og PTFE-harpikser fra Chemours og Daikin sikrer de højeste renhedsniveauer

• SEMI F57 certificeret — Alle produkter er strengt testet for metalionekstraktion, partikelfrigivelse og TOC-indhold i overensstemmelse med SEMI F57-standarderne

• Renrumsproduktion — Kritiske produktionsprocesser i klasse 1000/10.000 renrum; slutemballage i klasse 100 renrum

• Industri-Førende ekspertise — Bakket op af årtiers erfaring med fluorpolymerbehandling og R&D samarbejde med japanske og koreanske eksperter

• Dokumenteret global track record — Betroet af kunder i hele Europa, Japan, Korea, Taiwan (Kina), og videre

• Omfattende kvalitetssikring — ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 certificeret med fuld ind-hustestfunktioner, herunder Agilent ICP-MS til metalionanalyse og RION partikelanalysator til partikelfrigivelsestest

• Slut-til-Afslut service — Fra materialevalg og tilpasset design til fremstilling, test og efter-salgsstøtte

Tilpasningsmuligheder

Vi tilbyder fuldt tilpassede elektroniske rørsystemer for at opfylde dine specifikke krav:

• Brugerdefinerede diametre, vægtykkelser og længder

• PFA eller PTFE materialevalg baseret på applikationskrav

• Flere tilslutningsmuligheder: flare fittings, IR-svejsning, indsatsbøsninger

• Brugerdefinerede spolekonfigurationer og præ-samlede rørsystemer

• Særlige emballageløsninger til renrumsintroduktion

• Lasermærkning efter anmodning for sporbarhed