Översikt
Anhui Xinfulongs FEP (Fluorerad etylenpropylen) Electronic Grade Pipes är precision-konstruerad för de mest krävande ultra-rena vätsketillförselapplikationer inom halvledartillverkning, våtkemisk bearbetning och kritiska vätskehanteringssystem. Tillverkad från 100% jungfruligt FEP-harts genom avancerad extruderingsteknik, våra rör ger exceptionell kemisk tröghet, ultra-låg extraherbarhet och överlägsen optisk klarhet — uppfyller de stränga renhetskraven för avancerade halvledarnoder inklusive 7nm och längre.
När halvledarprocesser fortsätter att utvecklas mot högre integration och finarenoder ställs extremt höga krav på processvätskors renhet, stabilitet och systemkompatibilitet. FEP har blivit det bästa materialet för att förmedla ultra-rena vätskor i viktiga halvledarprocesser som rengöring av skivor, etsning och CMP, på grund av dess utmärkta kemiska tröghet, extremt låga utfällningshastighet och enastående bearbetningsprestanda.
Jämfört med PTFE hålls FEP-slangen till snävare toleranser och har lägre gaspermeabilitet, vilket gör den särskilt lämplig för elektronisk-applikationer där precision och renhet är av största vikt-. FEP:s genomskinliga karaktär möjliggör enkel visuell inspektion av vätskeflödet, vilket ger ett extra lager av processkontroll och säkerhet.
Nyckelfunktioner
Ultra-Hög renhet & Ultra-Lågt extraherbart material
-
Extremt låga metalljoner och organiska extraherbara ämnen — orsakar inte sekundär kontaminering till ultra-rent vatten och kemikalier
-
Uppfyller de stränga kraven på "noll kontaminering" för tillverkning av halvledarprodukter
-
100% jungfruligt FEP-harts — inget återvunnet material används, vilket säkerställer konsekvent renhet
-
Låg permeabilitet och fuktabsorptionnästannoll
Överlägsen kemisk tröghet
-
Kemiskt inert mot praktiskt taget alla syror, alkalier, lösningsmedel och aggressiva kemikalier
-
Utmärkt korrosionsbeständighet mot fluorvätesyra, svavelsyra, salpetersyra, väteperoxid och avjoniserat vatten — även vid höga koncentrationer
-
Motstår stresssprickor — hög-prestanda hartsformulering länge-term tillförlitlighet
-
Icke-sticka, icke-vidhäftande yta förhindrar avlagringar och slamuppbyggnad
Brett temperaturområde
-
Kontinuerlig service fr.om -80°C till +200°C
-
Upprätthåller stabil mekanisk och kemisk prestanda under hög-temperatur rengöringsvätskemiljöer
-
Lämplig för transportsystem för heta syror och heta alkalier
Exceptionell optisk klarhet
-
Genomskinlig till genomskinlig, vilket gör att operatörerna enkelt kan övervaka vätskeflödet och upptäcka bubblor eller föroreningar
-
Enastående UV-överföringshastighet — idealisk för UV-vattenrening och analyssystem
-
Finns i klar (naturligt) eller anpassade färger för linjeidentifiering och routing
Slät, ren innervägg
-
Extremt slät inre yta förhindrar partikelvidhäftning och avsättning
-
Död-vinkel-fri struktur eliminerar föroreningsfällor
-
Lätt att spola och underhålla — minskar systemets stilleståndstid
Överlägsna elektriska egenskaper
-
Utmärkta dielektriska egenskaper — enastående elektrisk isoleringsprestanda
-
Hög dielektrisk genomslagsspänning
-
Icke-brandfarlig och själv-släckning
Snäva dimensionstoleranser
Tillgängliga konfigurationer
Tekniska specifikationer
Ansökningar
Våra FEP Electronic Grade Pipes är brett utplacerade i ultra-rena och kritiska vätskehanteringsapplikationer:
Halvledartillverkning
-
Ultra-rent vatten (UPW) och kemiska distributionssystem
-
Våtetsning — fluorvätesyra, svavelsyra och andra etsmedel
-
Rengöring av wafer och fotoresiststrippning
-
CMP (Kemisk mekanisk planarisering) flytande leverans
-
Hög-rena kemikalieleveranslinjer för avanceradnodtillverkning
Våta elektroniska kemikalier
-
Överföring av hög-rena syror, lösningsmedel och etsmedel
-
Hög-renhet reagensmatning och blandningssystem
-
Kemisk mekanisk planariseringsprocesser
Läkemedel & Biotech
-
Hög-renhetsvätskeöverföring utan risk för kontaminering
-
Lösningsmedel och reagensleveranssystem
-
FDA-kompatibla bearbetningslinjer
Analytisk & Laboratorium
Kemisk bearbetning
-
Korrosiv kemikaliehantering vid betning, plätering och etsningsprocesser
-
Hög-renhet kemisk matning och recirkulation linjer
-
Grundvattenövervakning och sanering
Varför välja Xinfulong FEP Electronic Grade Pipes?
-
Halvledare-Klass renhet — Ultra-låga metalljoner och organiska extraherbara ämnen säkerställer ingen kontaminering av processvätskor, vilket uppfyller kraven på "noll förorening" för halvledartillverkning
-
Överlägsen kemisk beständighet — Utmärkt korrosionsbeständighet mot praktiskt taget alla syror, alkalier och lösningsmedel, inklusive hög-koncentration fluorvätesyra och salpetersyra
-
Precisionstillverkning — Snävare dimensionella toleranser än PTFE-ekvivalenter säkerställer tillförlitlig systemintegration och konsekvent prestanda
-
Renrumstillverkning — Kritiska produktionsprocesser utförda i klass 1000/10 000 renrum, vilket säkerställer högsta renhetsnivå
-
Optisk klarhet — Genomskinlig till transparent design möjliggör enkel visuell inspektion av vätskeflöde, bubblor och kontaminering
-
Industri-Ledande expertis — Uppbackad av decennier av erfarenhet av fluorpolymerbearbetning och R&D samarbete med japanska och koreanska experter
-
Beprövad global meritlista — Betrodd av kunder över hela Europa, Japan, Korea, Taiwan (Kina), och bortom
-
Omfattande kvalitetssäkring — ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 certifierade med full in-kapacitet för hustestning; överensstämmer med ASTM D3296 och SEMI F57-standarder-
-
Slut-till-Avsluta tjänsten — Från anpassad design och materialval till tillverkning, testning och efter-säljstöd
Anpassningsalternativ
Vi erbjuder helt anpassningsbara elektroniska FEP-rör för att möta dina specifika krav:
-
Anpassade diametrar och väggtjocklekar
-
Anpassade längder — raka längder, kontinuerliga spolar eller spoolade konfigurationer
-
Standard, korrugerad, veckad eller värme-krympkonstruktioner
-
Naturligt (klart) eller anpassade färger för linjeidentifiering och routing
-
Anpassad slutfinish — utsvängda ändar, manschetter eller släta ändar
-
Integration med kompletta rörsystem inklusive kopplingar, ventiler och tillbehör
